其他产品    
     
 
  皮带传动系列TSLB  
 
 
 
精密定位工作台LB的滑动台的进给机构采用耐久性出色的高张力带钢丝同步齿型皮带,使用高转矩5相步进电机作为驱动用电机,是一款能高速移动的长行程定位台。
滑动台和底座为高强度铝合金,轻量。
直线导向装置内并列装入两条直线导轨,行走性能高而稳定。
精密定位台LB适合用作进行高速作业的组装机、搬运机、托盘交换机等的定位机构。
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  精密定位工作台AT  
 
 
 
精密校准工作台AT使用高刚性钢制台和底座,支撑台的轴承内装入交叉滚子轴承,是一款用于精密角度校正的旋转定位机构。
精密校准工作台AT由滚珠丝杠驱动将直线运动变换成固定角度范围内的圆周运动,使工作台在旋转方向定位。滚珠丝杠驱动机构的直线导向装置使用直线导轨L,与精密滚珠丝杠搭配,实现了高精度定位。
精密校准工作台AT设置于精密定位工作台的滑动台上,构成高度较低的XY-θ多轴定位机构,可用作精密测量仪器、检验机、组装机等的校准工作台。
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  角度精密定位工作台(组件)SA...M  
 
 
 
模组型校准工作台SA...M在同一平面上配置具有角度调整机构的校准模组AM,是一款大型精密定位台。能进行XY方向的直线运动和角度校正,尤其是角度校正,能将任意位置设定为旋转中心,故动作自由度高,动作多样。工作台和底座采用大口径中空结构,适合用作半导体、液晶制造设备和检验设备等的校准台。
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  角度精密定位工作台(直流驱动)SA...D  
 
 
 
IKO技术
直接驱动型校准工作台SA...DE的直线导向部使用IKO自润滑直线导轨L,旋转导向部使用IKO交叉滚子轴承,驱动部采用直接驱动方式,是一款低断面紧凑型做XYθ运动的校准工作台。
校准工作台SA...DE通过高分解能线性光栅尺搭配全闭环控制,实现了没有后移间隙的高精度定位。
适合于用作半导体和液晶制造设备等利用图像处理进行校准处理以及要求清洁环境的测量仪器和检验设备等的定位机构。
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  精密升降台 TZ  
 
 
 
精密升降台TZ是利用楔型机构进行上下方向精密定位的升降型精密定位工作台。楔型机构是充分利用在各种产业机械中业绩出色的IKO直线导轨技术,在紧凑的小型机构上实现了高精度和刚性。适合使用于需要高精度的半导体、液晶制造装置和光学方面的装置。
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  压电精密定位工作台SP  
 
 
 
压电定位工作台SP在紧凑的钢制台内装入由压电元件和应变计构成的IKO独创变位检测机构,是一款超微动定位台。
IKO压电定位工作台SP实现了“10nm”的高分解能和高定位精度,通过搭配IKO精密定位工作台可构成高精度紧凑型粗调和微调机构。
适合于用作激光和光学设备、半导体和液晶装置等需要进行精细定位的控制机构。
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